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王磊杰
技术职务：副研究员
办公电话：62797742
通讯地址：清华大学李兆基科技大楼A823
电子邮件：wang-lj66@mail.tsinghua.edu.cn
2010/09-2016/07,清华大学，博士
2006/09-2010/07,中国矿业大学（北京），学士
2024/12-至今, 清华大学机械工程系，副研究员
2018/07-2024/12, 清华大学机械工程系，助理研究员
2016/07-2018/07, 清华大学机械工程系，博士后
面向半导体尖端设备超精密运动位移丈量的需求，围绕皮米丈量精度的生成，开展超精密激光干涉仪位移丈量技术、超精密光栅干涉仪位移丈量技术、基于扫描干涉光刻的大尺寸高精度全息平面光栅制造技术的基础理论和关键技术研究。作为技术负责人，研制出了国内首套大量程超高精度平面光栅干涉位移丈量系统，关键技术指标已达到国际同类产品的先进水平。主持及参与国家科技重大专项、国家重点研发计划、973、863、中国博士后科学基金等10余项目。
以第一、第二及通讯作者发表SCI和EI论文16篇，以前三发明人获得国家发明专利30余项（美国专利7项）。
2024年获国家级青年人才计划资助
2023年获第24届中国专利银奖
2018年获北京市科学技术奖一等奖
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