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喜报|清华大学机械工程系路新春教授团队项目获国家技术发明奖一等奖

中共中央、国务院于6月24日上午在北京隆重举行国家科学技术奖励大会。

清华大学机械系路新春团队“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目获2023年度国家技术发明奖一等奖。

国家科学技术奖是为了奖励在科学技术进步活动中做出突出贡献的个人、组织,调动科学技术工作者的积极性和创造性,建设创新型国家和世界科技强国,根据《中华人民共和国科学技术进步法》设立的奖项。该奖项包括国家最高科学技术奖、国家自然科学奖、国家技术发明奖、国家科学技术进步奖、中华人民共和国国际科学技术合作奖。


 






编辑 | 张琪琪

审核 | 熊卓、瞿体明


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