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清华大学机械系在纳米表征领域取得新进展

近日,清华大学机械系在纳米表征领域取得新进展,提出了大范围无拼接扫描探针表征方法与系统,基于纳米柔性扫描台与压电扫描器的协同运动,避免了传统大范围“步进-扫描”表征方法存在的拼接误差和弓形扭曲,实现了毫米级幅面的无拼接、高通量纳米表征,连续表征幅面相比于传统系统扩大了 2 个数量级,该技术在材料科学、生物学、物理学、纳米电子学等领域具有相关应用前景。



相关成果以“超大范围无拼接原子力显微镜:以零拼接误差和高通量推进纳米表征和操作”(Ultra-large scale stitchless AFM: Advancing nanoscale characterization and manipulation with zero stitching error and high throughput)为题发表在学术期刊Small,并被选为期刊封底文章(Back Cover)。

清华大学机械系张震、北京航空航天大学机械工程及自动化管迎春教授为论文共同通讯作者,清华大学机械系2019级博士生刘义杰为论文第一作者。研究工作得到了国家自然科学基金等项目的支持。


论文链接:

https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/smll.202303838


撰稿:张震、刘义杰

编辑:张琪琪

审核:熊卓、赵玥

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